半導體專用設備泛指用于生產各類半導體產品所需的生產設備，屬于半導體行業產業鏈的支撐環節。在整個芯片制造和封測過程中，會經過上千道加工工序，細分又可以劃出百種不同的機臺，占比較大市場份額的主要有：光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備、離子注入機、測試機、分選機、探針臺等。
半導體設備產業鏈中，上游為信息交互系統及設備本體構成；中游為半導體設備，光刻設備、刻蝕設備、薄膜沉積設備為三大核心設備；下游為半導體產品，主要分為四大類，集成電路、分立器件、光電子器件和傳感器。
半導體設備上游中包括精密運動控制系統、伺服驅動系統和測試分選設備本體；精密運動控制系統作為核心部件，向伺服驅動系統分配運動指令，從而帶動測試分選設備本體運轉，對芯片進行分選。
伺服系統又稱隨動系統，是用來精確地跟隨或復現某個過程的反饋控制系統。伺服系統使物體的位置、方位、狀態等輸出被控量能夠跟隨輸入目標的任意變化的自動控制系統。它的主要任務是按控制命令的要求、對功率進行放大、變換與調控等處理，使驅動裝置輸出的力矩、速度和位置控制非常靈活方便。到2021年，中國伺服系統市場規模將達到224億元。
SEMI在其全球半導體設備市場統計報告中指出，全球半導體制造設備銷售額從2019年的598億美元猛增19％，達到2020年712億美元的歷史新高。中國首次成為全球最大的半導體設備市場，銷售額增長39％，達到187.2億美元。2021年第一季度全球半導體制造設備出貨金額較去年同期大幅增長51%，比上一季度也有21%的增長，達到236億美元，中國半導體制造設備出貨金額達59.6億美元。
從細分產品來看，光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備為半導體設備主要核心設備，分別占比24%、20%、20%。其次為測試設備和封裝設備，分別占比9%、6%。
近年來，中國大陸半導體設備市場占比逐步提高。數據顯示，截至2020年第三季度，我國半導體設備在全球市場占比達26.5%。
半導體專用設備市場與半導體產業景氣狀況緊密相關，其中芯片制造設備是半導體專用設備行業需求最大的領域，下游新興產業的快速發展是半導體設備行業的最大驅動力。數據顯示，2020年全球半導體銷售額達4355.6億美元，同比增長5.98%，中國半導體銷售額達1508.0億美元。
數據顯示，2016年中國圓晶制造行業市場規模突破1000億元，到2019年，中國圓晶制造行業市場規模超過2000億元，達到2149.1億元。預計2021年，我國圓晶制造行業市場規模或達到2941.4億元。
集成電路在消費電子、高端制造、網絡通訊、家用電器、物聯網等諸多領域得到廣泛應用，已成為衡量一個國家產業競爭力和綜合國力的重要標志之一。數據顯示，2020年我國集成電路產量達2612.6億塊，2021年1-5月我國集成電路產量達1399.2億塊，同比增長48.3%。
光電子器件是利用電-光子轉換效應制成的各種功能器件。數據顯示，2020年我國光電子器件產量達9722.9億只。2021年1-5月我國光電子器件產量達4755.7億只，同比增長43.8%。
傳感器是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息，按一定規律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。數據顯示，2019年中國傳感器市場規模2189億元，同比增長12.7%。2021年中國傳感器市場規模可達2953億元。
本公司出品的研究報告首先介紹了中國半導體設備行業市場發展環境、半導體設備行業整體運行態勢等，接著分析了中國半導體設備行業市場運行的現狀，然后介紹了半導體設備行業市場競爭格局。隨后，報告對半導體設備行業做了重點企業經營狀況分析，最后分析了中國半導體設備行業發展趨勢與投資預測。您若想對半導體設備行業產業有個系統的了解或者想投資中國半導體設備行業，本報告是您不可或缺的重要工具。
本研究報告數據主要采用國家統計數據，海關總署，問卷調查數據，商務部采集數據等半導體設備。其中宏觀經濟數據主要來自國家統計局，部分行業統計數據主要來自國家統計局及市場調研數據，企業數據主要來自于國統計局規模企業統計半導體設備及證券交易所等，價格數據主要來自于各類市場監測半導體設備。
圖表43 2019年分行業規模以上工業企業研究與試驗發展（R&D）經費情況
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